в состав комплекса МЛЭ модули соединяются между собой шлюзовыми устройствами и системой перемещения подложек и образцов из одного модуля к другой без нарушения вакуума.
Рисунок 1.2 - Схема установки МЛЭ[12].
Самое читаемое:
Разработка методики поверки датчика определения расстояния и датчика касания
Слово
«робот» прочно вошло в современный обиход, современную речь и современную
жизнь. Трудно представить себе мир XXI века без «умных» машин. Они проникли
всюду: от заводских сборочных цехов и медицины до арсеналов наиболее развитых
армий мира. Ну и, конечно, редкий фантастический фильм или роман не обходится
без автономных думающ ...