в состав комплекса МЛЭ модули соединяются между собой шлюзовыми устройствами и системой перемещения подложек и образцов из одного модуля к другой без нарушения вакуума.
Рисунок 1.2 - Схема установки МЛЭ[12].
Самое читаемое:
Автомат включения вентилятора
Выпуск бытовой радиоэлектронной аппаратуры в
нашей стране увеличивается. С каждым годом расширяется её ассортимент,
совершенствуется технология производства на основе использования операционных
усилителях, интегральных микросхем и микросборок, новейших достижений
микроэлектроники и микропроцессорных средств обслуживание и обеспечени ...